电子级工业过滤器应用金属滤网产品别名、型号、牌号、标准、规格、种类及用途
电子级工业过滤器应用金属滤网产品别名、型号、牌号、标准、规格、种类及用途
电子级工业过滤器・金属滤网别名、型号、牌号、执行标准、规格、种类、用途
电子级工业过滤器应用金属滤网产品种类：不锈钢丝网、筛网、钢铁丝网、不锈钢网、密纹网、方孔网、方孔筛网、过滤网、编织网、轧花网、矿筛网、金属网、金属丝网、金属网带、针织金属网、碰网、焊接网、菱形网板、六角形编织网等；
电子级工业过滤器应用金属滤网生产执行标准：GB/T 5330-2025、GB/T5330-2003、GB/T5330-1985、GB/T18850-2002、GB/T 19628.2-2005、HB1862-1993、GB/T 10611-2003、GB/T 17492-2012 、QB/T 2031-1994、QB/T 1925.3-1993、GBT13307-2012、GB/T 5330.1-2000、GB/T 5330.1-2012；
电子级工业过滤器应用金属滤网过滤精度型号：GFW、GF1W、GF2W、GF3W（1-635目,过滤精度：0.02-25mm）；MPW、MXW、MBW、RPD、TRD（过滤精度：1-425μm）;
我公司供货每种规格型号都提供“材质单”和“合格证”，认知品牌-相信朋友，“茂群丝网”为您采购的每一件电子级工业过滤器应用金属滤网产品提供产品质量保证！
电子级工业过滤器应用金属滤网产品别名（行业通用叫法）：电子级滤网、半导体精密滤网、高纯金属滤网、电子蚀刻滤网、晶圆过滤滤网、超纯水滤网、电子浆料滤网、光刻胶过滤网、高纯编织网、电子级烧结滤网、精密微孔滤片、半导体滤芯内网、锂电池浆料滤网、无尘精密筛网、电子化学品过滤网、高纯席型密纹网。
电子级工业过滤器应用金属滤网常用材质牌号（电子级高纯专用）
1、核心通用牌号
304 高纯级：06Cr19Ni10；
316L 电子高纯级：022Cr17Ni12Mo2（半导体 / 超纯水首选）；
316L VM 真空熔炼级：低杂质、低析出、低磁性，半导体高端制程。
2、高端特种电子级材质
2205/2507 双相不锈钢：耐电子酸碱蚀刻液、高氯环境；
904L：耐高纯酸性电子化学品；
TA1/TA2 纯钛滤网：蚀刻液、电镀液、强腐蚀电子药液专用；
蒙乃尔 400、哈氏合金 C276：超高纯电子化学品、强腐蚀制程；
镍网、镍合金网：锂电池、电子电镀、真空镀膜、电解液过滤。
电子级工业过滤器应用金属滤网执行标准（电子级专用）
国内标准
GB/T 20878 不锈钢牌号技术规范；
GB/T 5330 金属丝编织网 规格与公差；
GB/T 13307 预弯和焊接金属筛网；
SJ/T 半导体纯水及化学品过滤规范；
GB/T 34018 高纯金属丝网通用技术条件；
国际 / 半导体行业标准；
SEMI 半导体设备材料标准；
ASTM E11 精密筛分与滤网精度标准；
ISO 3310 精密试验筛及滤网公差；
RoHS、REACH 电子环保无毒析出标准；
半导体 Fab 厂超纯水 UPW、化学品高纯过滤内控标准。
电子级工业过滤器应用金属滤网结构型号与成品型号
1、编织结构型号
平纹网、斜纹网、席型密纹网（反差网 / 双丝网）、超密纹高精滤网；
2、成型件型号
圆形滤片、包边精密滤片、多层复合滤片；
烧结网滤片、烧结网筒、无缝焊接滤筒；
折叠滤网骨架、电子级快装滤筒、微孔冲孔精密网板；
锂电池专用方形滤网、卷状电子精密网带。
电子级工业过滤器应用金属滤网规格参数（电子级专用）
1、目数 / 精度
常规：20 目–500 目
高精电子级：600 目、800 目、1000 目、1200 目、1500 目、2000 目、2500 目；
微米精度：0.5μm、1μm、2μm、5μm、10μm、20μm、50μm。
2、丝径与工艺
细丝高精编织、真空退火、电解抛光、无磁、低杂质、无油污、无析出
3、尺寸规格
卷材：1m/1.2m 宽幅整卷电子网
圆片：φ10～φ500mm 可激光切割、无缝包边
滤筒：卫生级卡箍 / 法兰式，适配电子级精密过滤器
可定制异形、方形、环形精密滤网
电子级工业过滤器应用金属滤网产品种类（电子级分类）
电子级不锈钢编织滤网
316L 高纯、低杂质、电解抛光，适用于超纯水、普通电子化学品预精滤。
高纯席型密纹滤网
超高目数、孔径均匀、不漏颗粒，光刻胶、电子浆料、纳米粉体精密过滤。
多层金属烧结滤网
孔径稳定、耐压耐温、可反复清洗，半导体循环液、高纯药液精密过滤，不掉粉不掉丝。
纯钛 / 哈氏合金特种滤网
耐强腐蚀蚀刻液、显影液、电镀液，半导体晶圆蚀刻、面板制程专用。
镍及镍合金滤网
锂电池电解液、极片浆料、真空镀膜、电子气相制程过滤。
激光切割微孔滤片
孔径一致、无编织偏差，高端半导体微通道、精密流体控制。
电子级工业过滤器应用金属滤网电子级核心用途
1、半导体 / 晶圆行业
超纯水 UPW、去离子水循环过滤
光刻胶、显影液、蚀刻液、剥离液精密过滤
制程工艺气体、氮气、氩气纯化除微粒
晶圆清洗药液、高纯化学试剂过滤
2、新能源锂电池行业
锂电池正负极浆料、电解液过滤除杂
锂电生产纯水、溶剂、涂布液精密筛分过滤
极片粉体原料分级、纳米材料筛分
3、电子化工 / 电子化学品
电子溶剂、高纯试剂、电镀液、抛光液 CMP 过滤
电子树脂、助焊剂、绝缘浆料杂质拦截
4、面板 / 光伏 / LED
玻璃清洗液、光伏硅料浆液过滤
光刻制程、镀膜工艺流体精密除微颗粒
5、通用电子制造
电子厂循环水、冷却系统精密过滤
精密仪器、无尘车间流体管路终端过滤
电子粉体、荧光粉、陶瓷粉体精细筛分
电子级工业过滤器应用金属滤网电子级滤网特殊要求
材质低碳、低硫、低磷，金属离子析出极低
表面电解抛光、洁净无油污、无粉尘、符合 RoHS
孔径公差极小，无跳目、无变形、无掉丝
耐高纯酸碱、耐有机溶剂、可超声波清洗、可高温烘干。
电子级工业过滤器应用金属滤网核心别名与术语体系
电子制造领域对过滤网的命名强调洁净度与微粒控制能力，常用专业别名包括：
滤网（Filter Mesh）：通用术语，指用于拦截微粒的金属丝网结构
滤芯（Filter Element）：集成式筒状或板式过滤单元，如“316L烧结滤芯”
过滤元件（Filtration Component）：行业标准术语，用于洁净室与高纯流体系统
亚微米滤网（Sub-micron Mesh）：特指过滤精度≤1μm的金属网，用于光刻胶、清洗液过滤
高纯金属网（High-Purity Metal Mesh）：氧含量≤10ppm、总金属杂质≤50ppb的超净材质
术语规范：在SEMI标准中，“过滤元件” 为正式文件用语，“滤网” 多用于现场操作描述。
电子级工业过滤器应用金属滤网主流材质与牌号选型对照
材质类别 | 典型牌号 | 纯度要求 | 适用场景 | 推荐理由 |
316L不锈钢（高纯） | S31603-HP
| Fe≥68%, Cr=16–18%, Ni=10–14%, Mo=2–3%, 总杂质≤50ppb | 晶圆清洗液、去离子水系统 | 符合SEMI F57标准，抗氯离子腐蚀 |
钛合金（TA2） | TA2-EP | 氧含量≤8ppm, 无Fe/Ni析出 | 高纯水、氢氟酸输送系统 | 耐强酸、无金属污染，适用于28nm以下制程 |
镍基合金（Inconel 600） | N06600 | C≤0.015%, S≤0.005%, 高温抗氧化 | 化学机械抛光（CMP）浆料过滤 | 耐高温、抗有机溶剂溶胀 |
烧结多孔金属 | PM-316L-5μm | 多层烧结，孔径分布窄（±0.3μm） | 光刻胶、抗反射涂层过滤 | 可反洗再生，纳污量大 |
选型原则： 28nm及以下制程 → 必须使用 TA2或高纯316L电抛光滤芯 光刻胶系统 → 推荐 烧结多孔金属网，避免纤维脱落 HF酸系统 → 禁用不锈钢，必须采用 PTFE包覆钛网或全钛结构 | ||||
电子级工业过滤器应用金属滤网执行标准体系
标准编号 | 类型 | 核心要求 | 应用场景 |
SEMI F57-1123 | 国际半导体 | 规定液体过滤器中金属离子析出限值（Fe≤50ppt, Na≤100ppt） | 200mm/300mm晶圆厂 |
SEMI F20-0723 | 国际 | 高纯水系统过滤器完整性测试方法（起泡点+水侵入） | 超纯水（UPW）循环系统 |
ISO 29461 | 国际 | 高效空气过滤器测试标准，适用于洁净室回风金属网支撑层 | Class 1–5 洁净室 |
GB/T 36375-2024 | 国家标准 | 电子级液体过滤器技术条件，规定过滤效率≥99.99%@0.1μm | 国内半导体项目验收依据 |
ASME BPE-2023 | 国际 | 表面光洁度Ra≤0.4μm，全焊透结构，无死角设计 | 高纯流体管道集成 |
关键更新：SEMI F57 已成为全球晶圆厂准入的强制性标准，普通316L滤芯无法通过金属析出检测。 | |||
电子级工业过滤器应用金属滤网产品种类与结构特征
种类 | 结构特征 | 优势 | 缺点 | 典型应用 |
烧结金属网 | 多层316L网真空烧结，孔径0.1–50μm | 精度稳定、可反洗、耐高压 | 成本高、加工周期长 | UPW、光刻胶、CMP浆料 |
电抛光编织网 | 316L平纹编织+电解抛光处理，Ra≤0.3μm | 表面光滑、低析出、易清洗 | 强度较低，仅适用于低压 | 清洗液循环系统 |
冲孔金属板 | 激光微孔，孔径0.5–5mm | 抗压强、耐冲击、结构稳定 | 过滤精度差（>500μm） | 防护网、气体分布器 |
波纹金属网 | 压制成波浪形，增加流通面积 | 压降低、纳污量大、节省空间 | 清洗困难，易积垢 | 洁净室回风过滤支撑层 |
多层复合网 | 冲孔板+密纹网烧结复合 | 兼具骨架强度与精细过滤，耐480℃ | 工艺复杂，价格高 | 高温工艺气过滤 |
结构趋势：“烧结网+电抛光+在线完整性监测” 成为先进制程标配，确保零颗粒脱落。 | ||||
电子级工业过滤器应用金属滤网关键规格参数与选型对照
参数 | 范围 | 选型依据 | 典型值示例 |
过滤精度 | 0.1–50μm | 制程节点决定 | 28nm：≤0.2μm；成熟制程：1–10μm |
孔径分布 | ±0.3μm | 高均匀性要求 | 烧结网：CV≤5% |
表面粗糙度 | Ra ≤ 0.4μm | 医药/电子级要求 | 电抛光：Ra 0.2–0.3μm |
金属析出 | Fe≤50ppt,Cr≤60ppt | SEMI F57强制要求 | 高纯316L：≤30ppt |
耐压差 | ≤0.25MPa | 超过0.18MPa需报警 | 推荐更换阈值：0.12–0.15MPa |
选型公式： 过滤精度（μm）≈ 14900 ÷ 目数； 例：400目 → 14900 ÷ 400 ≈ 37.25μm。 | |||
电子级工业过滤器应用金属滤网核心用途与工程应用
应用场景 | 功能作用 | 技术优势 |
晶圆清洗液系统 | 去除微粒与金属杂质，保护喷嘴 | 高纯316L烧结网+电抛光，析出≤30ppt |
光刻胶输送 | 拦截≥0.1μm颗粒，防止缺陷 | 多层烧结网，无纤维脱落，通过完整性测试 |
CMP浆料过滤 | 澄清浆料，防止划伤晶圆 | 5μm烧结滤芯，耐磨损，可反洗再生 |
超纯水（UPW）循环 | 保护反渗透膜与分配系统 | 电抛光编织网，Ra≤0.3μm，低析出 |
洁净室回风 | 支撑HEPA/ULPA滤网，拦截大颗粒 | 波纹金属网，压降低，结构稳定 |